特点

•体积小、重量轻(重量只有300g)

•比传统的精密减压阀IR200流量大20%(最大1100L7min)

•比传统的精密减压阀IR200排气量大5倍

•压力设定精确(调节螺栓的齿间距由传统的0.75mm改0.5mm)

•安装方便，可用托架独立安装或与现在的模块式过滤组合AFM 直接安装 

•标准也带面板式安装 

•先导排气口与主道排气口分开 

•可在洁净房使用(特口别产品）

技术参数

共同规格